ASMIK渦街流量計(jì)
超純水流量計(jì)廠家
時(shí)間:2025-08-20 發(fā)布者: 杭州米科傳感技術(shù)有限公司
在電子半導(dǎo)體(如晶圓清洗、芯片蝕刻)、制藥醫(yī)療(如注射用水制備)、光伏新能源(如硅片清洗)、實(shí)驗(yàn)室研發(fā)(如痕量分析)等領(lǐng)域,超純水(電導(dǎo)率≤0.1μS/cm、顆粒度≤1 個(gè) /mL@0.1μm)的純度直接決定產(chǎn)品質(zhì)量與實(shí)驗(yàn)結(jié)果,而渦輪流量計(jì)憑借 “高精度(±0.2% FS 至 ±0.5% FS)、衛(wèi)生級(jí)無(wú)死角設(shè)計(jì)、快速響應(yīng)(≤100ms)、低流阻(壓損≤0.5kPa)” 的核心優(yōu)勢(shì),成為超純水流量測(cè)量的核心設(shè)備。其工作原理基于 “渦輪旋轉(zhuǎn)測(cè)速”—— 超純水推動(dòng)渦輪旋轉(zhuǎn),內(nèi)置磁電傳感器捕捉旋轉(zhuǎn)頻率,通過(guò)頻率與流速的線性關(guān)系計(jì)算流量,需應(yīng)對(duì)超純水特有的嚴(yán)苛要求:低電導(dǎo)率避免電極式測(cè)量失效、高潔凈杜絕二次污染、低流速(0.1-2m/s)下的精準(zhǔn)計(jì)量。超純水流量計(jì)廠家需針對(duì)性研發(fā)渦輪流量計(jì),通過(guò)優(yōu)化渦輪材質(zhì)(電解拋光 316L 不銹鋼、陶瓷)、升級(jí)密封結(jié)構(gòu)(食品級(jí)氟橡膠、PTFE)、強(qiáng)化潔凈工藝(10 萬(wàn)級(jí)無(wú)塵組裝),確保設(shè)備符合 GMP、FDA、SEMICON 標(biāo)準(zhǔn)及 JJG 1037-2008《渦輪流量計(jì)檢定規(guī)程》,為超純水系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行與純度管控提供可靠支撐。
一、超純水用渦輪流量計(jì)的技術(shù)研發(fā)核心
超純水流量計(jì)廠家的研發(fā)重點(diǎn)在于突破超純水場(chǎng)景的測(cè)量痛點(diǎn),從 “材質(zhì)創(chuàng)新、結(jié)構(gòu)優(yōu)化、精度提升、潔凈適配” 四個(gè)維度打造產(chǎn)品,避免通用型渦輪流量計(jì)在超純水環(huán)境下出現(xiàn)污染、精度漂移或結(jié)構(gòu)失效。在材質(zhì)創(chuàng)新上,聚焦 “防污染、耐潔凈” 需求:針對(duì)超純水的高潔凈要求,渦輪與測(cè)量管采用電解拋光 316L 不銹鋼(表面粗糙度 Ra≤0.4μm),減少微生物附著與顆粒物殘留,某芯片廠應(yīng)用后,超純水顆粒物污染率從 0.5% 降至 0.01%;針對(duì)制藥行業(yè)的無(wú)菌需求,與超純水接觸的密封件選用食品級(jí)氟橡膠(符合 FDA 21CFR Part 11)或 PTFE(耐溫 - 40℃至 260℃),避免材質(zhì)遷移污染,某藥廠應(yīng)用后,注射用水 TOC(總有機(jī)碳)值穩(wěn)定在 5ppb 以下;針對(duì)光伏行業(yè)的酸堿清洗廢水(pH 2-12),測(cè)量管襯里覆 PTFE 涂層,某光伏企業(yè)應(yīng)用后,測(cè)量管腐蝕故障率從 15% 降至 1%。
結(jié)構(gòu)優(yōu)化應(yīng)對(duì)超純水系統(tǒng)特性:針對(duì)超純水低流速(0.1-0.5m/s)場(chǎng)景(如實(shí)驗(yàn)室痕量分析用水),優(yōu)化渦輪葉片設(shè)計(jì) —— 采用 6-8 片超薄鈦合金葉片(厚度 0.1mm),降低啟動(dòng)流速至 0.05m/s,某高校實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用后,低流速下測(cè)量誤差從 ±1.2% 降至 ±0.3%;針對(duì)超純水系統(tǒng)的氣蝕問(wèn)題(如反滲透產(chǎn)水端壓力波動(dòng)),在流量計(jì)入口加裝穩(wěn)流裝置(蜂窩狀導(dǎo)流結(jié)構(gòu)),某電子廠應(yīng)用后,氣蝕導(dǎo)致的渦輪卡滯率從 8% 降至 0.5%;針對(duì)在線清洗(CIP)與在線滅菌(SIP)需求,設(shè)計(jì)無(wú)死角結(jié)構(gòu) —— 渦輪與軸套采用卡扣式連接(拆卸時(shí)間≤2 分鐘),測(cè)量管內(nèi)壁無(wú)螺紋、無(wú)凹陷,某生物制藥廠應(yīng)用后,CIP 清洗效率提升 40%,滅菌后無(wú)菌合格率達(dá) 100%。
精度提升技術(shù)覆蓋全量程與環(huán)境干擾:針對(duì)超純水溫度波動(dòng)(20-40℃),集成 “實(shí)時(shí)溫度補(bǔ)償模塊”—— 搭載 PT1000 溫度傳感器(精度 ±0.1℃),通過(guò)算法修正溫度對(duì)渦輪轉(zhuǎn)速的影響,在 25-35℃范圍內(nèi),補(bǔ)償后誤差≤±0.1% FS,某半導(dǎo)體廠應(yīng)用后,水溫變化導(dǎo)致的流量偏差從 ±0.8% 縮小至 ±0.1%;針對(duì)超純水低電導(dǎo)率(≤0.055μS/cm)導(dǎo)致的信號(hào)衰減,優(yōu)化磁電傳感器靈敏度 —— 采用高磁能積釹鐵硼磁鋼(剩磁≥1300mT),搭配低噪聲信號(hào)放大電路(噪聲≤1μV),某超純水制備系統(tǒng)應(yīng)用后,信號(hào)采集成功率從 92% 提升至 99.9%;針對(duì)長(zhǎng)期使用后的渦輪磨損,加入 “磨損補(bǔ)償算法”,通過(guò)監(jiān)測(cè)渦輪轉(zhuǎn)速與流量的線性偏差,自動(dòng)修正測(cè)量值,某制藥廠應(yīng)用后,渦輪壽命從 1 年延長(zhǎng)至 2 年,中途校準(zhǔn)頻次減少 50%。
潔凈工藝適配貼合超純水生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn):廠家在 10 萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間完成渦輪流量計(jì)的組裝與測(cè)試,避免組裝過(guò)程中的粉塵污染;出廠前對(duì)設(shè)備進(jìn)行 “超純水循環(huán)清洗”(循環(huán)時(shí)間≥2 小時(shí),超純水電阻率≥18.2MΩ?cm),確保內(nèi)部無(wú)油污、無(wú)顆粒物殘留;針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的 Class 1 級(jí)潔凈室需求,提供 “無(wú)菌包裝 + 現(xiàn)場(chǎng)拆封校準(zhǔn)” 服務(wù),某芯片廠應(yīng)用后,設(shè)備拆封后潔凈度符合 Class 1 標(biāo)準(zhǔn),無(wú)需二次清洗。
二、超純水渦輪流量計(jì)的生產(chǎn)制造與質(zhì)量管控
超純水對(duì)流量計(jì)的潔凈度、材質(zhì)純度與精度一致性要求極高,超純水流量計(jì)廠家需以 “精密化、潔凈化、全流程合規(guī)” 為核心構(gòu)建生產(chǎn)體系,避免因制造缺陷導(dǎo)致超純水污染或測(cè)量偏差。在原材料篩選階段,執(zhí)行 “超純水專屬標(biāo)準(zhǔn)”:渦輪材質(zhì)需批量抽樣測(cè)試 —— 電解拋光 316L 不銹鋼需驗(yàn)證表面粗糙度(Ra≤0.4μm)、晶間腐蝕 resistance(符合 ASTM A262 標(biāo)準(zhǔn)),鈦合金葉片測(cè)試抗拉強(qiáng)度(≥860MPa)與耐腐蝕性(浸泡 5% H?SO?溶液 72 小時(shí)無(wú)點(diǎn)蝕);密封件需通過(guò) FDA 認(rèn)證與生物相容性測(cè)試(ISO 10993),確保無(wú)溶出物;磁電傳感器的磁鋼需測(cè)試磁穩(wěn)定性(100℃下連續(xù)工作 1000 小時(shí),磁通量衰減≤2%);電路板元器件選用工業(yè)級(jí)低功耗芯片(工作溫度 - 40℃至 85℃),且需通過(guò) RoHS 環(huán)保認(rèn)證,避免重金屬污染;所有原材料需提供材質(zhì)分析報(bào)告(如 316L 的化學(xué)成分報(bào)告)與潔凈度檢測(cè)報(bào)告。
生產(chǎn)流程聚焦 “潔凈與精度”:渦輪加工采用五軸聯(lián)動(dòng)數(shù)控機(jī)床(精度 ±0.005mm),確保葉片尺寸一致性(誤差≤0.01mm)與動(dòng)平衡精度(G1 級(jí),不平衡量≤1g?mm/kg),避免旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生顆粒脫落;軸套與渦輪的配合間隙控制在 0.01-0.02mm,既保證旋轉(zhuǎn)順暢,又防止超純水泄漏;磁電傳感器的安裝采用激光定位(同軸度≤0.05mm),確保磁場(chǎng)與渦輪葉片的耦合精度;針對(duì)超純水系統(tǒng)的高壓需求(≤1MPa),測(cè)量管采用整體鍛造工藝(耐壓等級(jí)≥1.6MPa),焊接處采用激光焊接(焊接精度 ±0.005mm),焊接后通過(guò)氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)泄漏率(≤1×10??Pa?m³/s);所有零部件在進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間前需經(jīng)過(guò) “超聲波清洗 + 超純水漂洗 + 烘干”(烘干溫度 80℃,時(shí)間 30 分鐘),確保表面潔凈度。
質(zhì)量管控貫穿生產(chǎn)全程且符合超純水標(biāo)準(zhǔn):半成品檢測(cè)中,重點(diǎn)驗(yàn)證渦輪的動(dòng)平衡精度(G1 級(jí))、傳感器的信號(hào)線性度(R²≥0.9999)、密封件的耐壓性能(1.5 倍額定壓力下保壓 30 分鐘無(wú)滲漏);整機(jī)組裝后,每臺(tái)流量計(jì)需通過(guò) “超純水循環(huán)測(cè)試”—— 在超純水(電阻率 18.2MΩ?cm)中連續(xù)運(yùn)行 4 小時(shí),監(jiān)測(cè)流量穩(wěn)定性(波動(dòng)≤±0.1% FS)與流出水潔凈度(顆粒物≤1 個(gè) /mL@0.1μm);針對(duì)制藥行業(yè),額外進(jìn)行 “濕熱滅菌測(cè)試”(121℃/0.1MPa 下滅菌 30 分鐘后,精度誤差≤±0.1% FS,無(wú)材質(zhì)變形);出廠前,所有渦輪流量計(jì)需送省級(jí)計(jì)量檢定機(jī)構(gòu),用 0.02 級(jí)標(biāo)準(zhǔn)超純水流量裝置進(jìn)行校準(zhǔn),獲取符合 JJG 1037-2008 的計(jì)量證書(shū);用于半導(dǎo)體、制藥的型號(hào)需額外通過(guò) SEMICON 標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證(針對(duì)半導(dǎo)體)或 GMP 認(rèn)證(針對(duì)制藥),確保符合行業(yè)合規(guī)要求;廠家建立生產(chǎn)追溯系統(tǒng),為每臺(tái)設(shè)備賦予唯一編號(hào),記錄原材料批次、無(wú)塵組裝記錄、潔凈度檢測(cè)結(jié)果,便于后續(xù)超純水系統(tǒng)審計(jì)與質(zhì)量追溯。
三、超純水渦輪流量計(jì)的行業(yè)場(chǎng)景適配方案
不同行業(yè)的超純水系統(tǒng)在流速、壓力、潔凈度要求上差異顯著,超純水流量計(jì)廠家需提供 “場(chǎng)景化產(chǎn)品 + 定制化方案”,確保渦輪流量計(jì)精準(zhǔn)適配各領(lǐng)域需求。在電子半導(dǎo)體行業(yè)場(chǎng)景中,需求集中在 “低流速、高潔凈、防污染”:針對(duì)晶圓清洗超純水系統(tǒng)(流速 0.1-2m/s,潔凈度 Class 1),廠家定制低流速渦輪流量計(jì),渦輪采用電解拋光 316L 不銹鋼,傳感器信號(hào)放大電路抗電磁干擾(符合 GB/T 17626.3 標(biāo)準(zhǔn)),某芯片廠應(yīng)用后,晶圓清洗流量控制精度達(dá) ±0.2% FS,清洗后晶圓表面顆粒物≤1 個(gè) / 片,良率提升 2%;針對(duì)芯片蝕刻用超純水(壓力 0.6MPa,水溫 25±1℃),研發(fā)高壓型渦輪流量計(jì),測(cè)量管耐壓等級(jí)≥1MPa,搭配壓力補(bǔ)償功能,某半導(dǎo)體蝕刻車(chē)間應(yīng)用后,壓力波動(dòng)導(dǎo)致的流量誤差從 ±0.5% 降至 ±0.1%;針對(duì)半導(dǎo)體廠的超純水回收系統(tǒng)(含微量化學(xué)品,pH 6-8),開(kāi)發(fā)抗污染渦輪流量計(jì),測(cè)量管襯里覆 PTFE 涂層,某電子廠應(yīng)用后,回收水對(duì)流量計(jì)的腐蝕率降低 90%,設(shè)備壽命延長(zhǎng)至 3 年。
在制藥醫(yī)療行業(yè)場(chǎng)景中,核心痛點(diǎn)是 “無(wú)菌、合規(guī)、可追溯”:針對(duì)注射用水制備系統(tǒng)(需 GMP 認(rèn)證,流速 0.5-3m/s),廠家推出衛(wèi)生級(jí)渦輪流量計(jì),與超純水接觸部分采用電解拋光 316L 不銹鋼(Ra≤0.4μm),支持在線滅菌(SIP,121℃/30 分鐘),某疫苗生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)用后,順利通過(guò) FDA 現(xiàn)場(chǎng)審計(jì),注射用水 TOC 值穩(wěn)定在 3ppb 以下;針對(duì)血液透析用超純水(直接接觸血液,流速 0.2-0.8m/s),研發(fā)生物兼容型渦輪流量計(jì),材質(zhì)符合 ISO 10993 標(biāo)準(zhǔn),無(wú)溶血風(fēng)險(xiǎn),某醫(yī)院應(yīng)用后,透析用水流量控制精度達(dá) ±0.1% FS,患者并發(fā)癥減少 30%;針對(duì)制藥廠的批次生產(chǎn)需求,流量計(jì)集成 “批次數(shù)據(jù)存儲(chǔ)” 功能(支持≥1000 批次數(shù)據(jù)備份),數(shù)據(jù)格式符合 FDA 21CFR Part 11 要求,某原料藥企業(yè)應(yīng)用后,批次流量數(shù)據(jù)可追溯,生產(chǎn)審計(jì)通過(guò)率提升 40%。
在光伏新能源行業(yè)場(chǎng)景中,需求聚焦 “耐溫、抗污染、高穩(wěn)定”:針對(duì)硅片清洗超純水(水溫 30-40℃,含微量 HF),廠家定制耐溫抗腐蝕渦輪流量計(jì),測(cè)量管襯里覆 PTFE,傳感器耐溫≤85℃,某光伏企業(yè)應(yīng)用后,水溫變化導(dǎo)致的流量偏差從 ±0.6% 縮小至 ±0.1%,HF 腐蝕導(dǎo)致的故障率從 12% 降至 1%;針對(duì)光伏逆變器冷卻水(超純水,流速 1-5m/s),開(kāi)發(fā)大流量渦輪流量計(jì)(DN50-DN100),采用加強(qiáng)型渦輪(葉片厚度 0.2mm),某光伏電站應(yīng)用后,冷卻水流量測(cè)量誤差≤±0.3% FS,逆變器散熱效率提升 15%;針對(duì)光伏組件清洗線的間歇式供水(流量波動(dòng) 0.5-3m/s),優(yōu)化流量計(jì)的量程比至 1:50,某組件廠應(yīng)用后,間歇供水時(shí)流量監(jiān)測(cè)穩(wěn)定性達(dá) 99%,清洗均勻性提高 20%。
在實(shí)驗(yàn)室與科研場(chǎng)景中,需求集中在 “微量測(cè)量、高精度、易操作”:針對(duì)痕量分析用超純水(流量 0.05-0.5m³/h),廠家推出微型渦輪流量計(jì)(DN15-DN25),渦輪直徑≤10mm,啟動(dòng)流速 0.05m/s,某高校實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用后,微量超純水計(jì)量精度達(dá) ±0.2% FS,實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)重復(fù)性提升 40%;針對(duì)超純水制備工藝研發(fā)(如新型反滲透膜測(cè)試),流量計(jì)支持實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)導(dǎo)出(RS485 接口)與曲線分析,某科研機(jī)構(gòu)應(yīng)用后,膜性能測(cè)試效率提升 50%;針對(duì)生物實(shí)驗(yàn)室的無(wú)菌需求,提供 “滅菌后即裝即用” 服務(wù),設(shè)備經(jīng) 121℃滅菌后真空包裝,某生物實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用后,拆封即可使用,無(wú)需額外滅菌步驟。
四、超純水渦輪流量計(jì)的售后保障與服務(wù)
超純水系統(tǒng)對(duì)流量計(jì)的維護(hù)、校準(zhǔn)與潔凈度保障要求嚴(yán)苛,超純水流量計(jì)廠家需圍繞 “潔凈維護(hù)、精準(zhǔn)校準(zhǔn)、合規(guī)輔助” 展開(kāi)服務(wù),確保超純水流量測(cè)量持續(xù)可靠且符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。在安裝與調(diào)試指導(dǎo)方面,提供 “潔凈場(chǎng)景專屬支持”:針對(duì)半導(dǎo)體 Class 1 級(jí)潔凈室安裝,派遣穿潔凈服的技術(shù)人員現(xiàn)場(chǎng)指導(dǎo),采用 “無(wú)塵工具 + 無(wú)菌手套” 操作,避免安裝過(guò)程中的粉塵污染,某芯片廠應(yīng)用后,安裝后潔凈度符合 Class 1 標(biāo)準(zhǔn);針對(duì)超純水管道的焊接對(duì)接,指導(dǎo)用戶采用 “自動(dòng)軌道焊接”(焊接精度 ±0.01mm),確保焊接處無(wú)焊瘤、無(wú)凹陷,某超純水制備廠應(yīng)用后,焊接處顆粒物殘留≤1 個(gè) /m,無(wú)需后續(xù)打磨;支持遠(yuǎn)程技術(shù)指導(dǎo),通過(guò)視頻通話協(xié)助用戶完成流量計(jì)與超純水系統(tǒng)的信號(hào)對(duì)接(如 Modbus-RTU 協(xié)議匹配),某偏遠(yuǎn)實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用后,調(diào)試周期從 5 天縮短至 1 天。
定期校準(zhǔn)服務(wù)聚焦 “超純水精度與合規(guī)”:根據(jù) JJG 1037-2008 規(guī)程,超純水渦輪流量計(jì)需每 1 年進(jìn)行一次強(qiáng)制檢定,廠家提供 “潔凈室上門(mén)校準(zhǔn)” 服務(wù) —— 技術(shù)人員攜帶 0.02 級(jí)標(biāo)準(zhǔn)超純水流量裝置(如標(biāo)準(zhǔn)體積管),在用戶潔凈室內(nèi)完成校準(zhǔn),全程采用超純水作為校準(zhǔn)介質(zhì),避免校準(zhǔn)液污染設(shè)備,某制藥廠應(yīng)用后,校準(zhǔn)后設(shè)備精度達(dá) ±0.2% FS,符合 GMP 要求;針對(duì)半導(dǎo)體廠的連續(xù)生產(chǎn)需求,提供 “備用流量計(jì)替換” 服務(wù),在主設(shè)備校準(zhǔn)期間,提供經(jīng)預(yù)校準(zhǔn)的備用設(shè)備,某半導(dǎo)體廠應(yīng)用后,生產(chǎn)中斷時(shí)間從 8 小時(shí)縮短至 1 小時(shí);校準(zhǔn)完成后,提供符合 CNAS 認(rèn)證的校準(zhǔn)報(bào)告,報(bào)告中包含超純水介質(zhì)下的誤差數(shù)據(jù),便于用戶應(yīng)對(duì)行業(yè)審計(jì)(如 FDA、SEMICON 審計(jì))。
故障響應(yīng)環(huán)節(jié),建立 “超純水應(yīng)急機(jī)制”:在工業(yè)集中區(qū)域(如長(zhǎng)三角、珠三角半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園)設(shè)立 “潔凈備件庫(kù)”,儲(chǔ)備經(jīng)無(wú)塵處理的渦輪、密封件等備件;用戶反饋故障后,市區(qū)內(nèi) 4 小時(shí)內(nèi)響應(yīng),攜帶潔凈備件與無(wú)塵工具到達(dá)現(xiàn)場(chǎng),維修過(guò)程在潔凈帳篷內(nèi)進(jìn)行,避免粉塵污染超純水系統(tǒng),某半導(dǎo)體廠應(yīng)用后,故障修復(fù)時(shí)間從 24 小時(shí)縮短至 4 小時(shí);針對(duì)制藥廠的無(wú)菌超純水系統(tǒng),故障修復(fù)后提供 “無(wú)菌驗(yàn)證報(bào)告”,確保維修后的設(shè)備符合無(wú)菌要求,某藥廠應(yīng)用后,維修后無(wú)需額外滅菌即可恢復(fù)使用。
此外,廠家還提供增值服務(wù):建立用戶超純水系統(tǒng)檔案,記錄每臺(tái)流量計(jì)的安裝位置、校準(zhǔn)記錄、維修歷史、超純水參數(shù)(如電阻率、溫度),便于用戶追溯與系統(tǒng)優(yōu)化;定期組織用戶培訓(xùn)(線上 + 線下),內(nèi)容包括超純水流量計(jì)的日常潔凈維護(hù)(如每周用超純水沖洗傳感器)、故障排查(如流量漂移原因分析)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解讀(如 GMP 對(duì)超純水設(shè)備的要求);收集用戶反饋,針對(duì)超純水新場(chǎng)景(如氫能電解槽超純水供應(yīng))優(yōu)化產(chǎn)品,某氫能企業(yè)反饋后,廠家推出耐高壓(≤3MPa)超純水渦輪流量計(jì),成功適配電解槽用水監(jiān)測(cè)。
超純水流量計(jì)廠家的核心價(jià)值,在于以技術(shù)研發(fā)突破超純水場(chǎng)景的測(cè)量與潔凈痛點(diǎn),以精密制造保障設(shè)備的純度與精度,以場(chǎng)景化服務(wù)解決用戶運(yùn)維與合規(guī)難題,為電子、制藥、光伏等領(lǐng)域的超純水系統(tǒng)提供 “潔凈、精準(zhǔn)、可靠” 的流量監(jiān)測(cè)解決方案。隨著 “雙碳” 目標(biāo)推進(jìn)與高端制造業(yè)升級(jí)(如第三代半導(dǎo)體、基因工程),廠家還需持續(xù)創(chuàng)新:研發(fā)耐超高壓(≤10MPa)的渦輪流量計(jì)適配氫能超純水系統(tǒng)、優(yōu)化 AI 算法實(shí)現(xiàn)流量異常預(yù)判與污染預(yù)警、搭建超純水流量監(jiān)測(cè)云平臺(tái),通過(guò)技術(shù)與服務(wù)的雙重升級(jí),助力用戶提升超純水利用效率、保障產(chǎn)品質(zhì)量,推動(dòng)超純水測(cè)量領(lǐng)域向 “更高精度、更優(yōu)潔凈度、更智能化” 方向發(fā)展。
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